《表2 掉片类型与缺陷片对照表》

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《PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施》

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为了保证每张硅片都能正常放入石墨舟叶片的卡点内，要求吸盘吸取26张硅片时位置一致性要非常好。影响硅片一致性的因素主要有：1）上料中转机构的定位精度；2）石墨舟定位精度；3）机器人运动轨迹的设计。掉片是由于硅片没有顺利放进卡点内，如图3所示，将卡点编号为1、2、3，针对不同卡点，掉片表现为不同的情况。表2为掉片类型与缺陷片对照表。