《表1 电池片生产各工序不合格率》

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《PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施》

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随机抽取某光伏厂商1天6个时段的生产数据，统计电池片生产各工序不合格率见表1。太阳能电池片的生产工艺流程中，PECVD工序对产品的合格率有重大影响，由此可见提高PECVD工序产品良率对制备高效低成本的电池片有重要意义。