《表1 PID控制流量试验数据Tab.1PID control flow test data》

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《SF_6气体分解物比色法定量检测装置的研制与应用》

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经大量试验研究，控制系统选用高性能质量流量传感器计、电控流量阀，通过多点线性校准，保证流量检测的稳定性、准确性，利用PWM对电控流量阀进行控制，PWM可以按5K的频率0~100%脉宽调制，分辨率可达1/8000，也就是按1L的量程，可按0.125mL的步进进行流量调节，通过PID算法，可将流量精准控制在5%的误差以内。使用PID控制流量分别对N2、SF6的试验数据如表1所示。