《表1:带状注电子枪的模型参数》

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《径向注电子光学系统的仿真与设计》


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最终得到的符合要求的电子枪数据,如表1所示,为达到要求的电子枪的最终参数列表。图7为对应的模型参数标注。可以看到在阴极和阳极距离1.65mm,阳极旋转角度为8度,阴极厚度为0.3mm,阴极尺寸为4度x 0.56mm,聚焦级旋转角度为4.4度,聚焦级高度为2.52mm时,可以确保电子枪在电流达到0.4A的同时(如图8),电子注在注腰处的X、Y方向的电子轨迹图像稳定且符合要求,实现了电子枪电压4400V,电流0.4A,电子注注腰处尺寸为4度×0.2mm(如图9和图10)的课题要求。