《表8 刻蚀前后玻璃的桥氧、非桥氧相对原子含量》

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《采用盐类化学试剂制备减反增透膜层的方法》

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通过X-射线光电子能谱图（XPS）对原片玻璃和刻蚀玻璃进行表征，图7为样品表面全谱数据图，从图中可以发现，样品表面有明显的O、Na、Si信号。再对样品中的O元素进行高分辨XPS扫描，将其分解为桥氧（Ob）和非桥氧（Onb），得到其元素特征谱图如图8所示。刻蚀前后样品中桥氧和非桥氧相对比例如表8所示。刻蚀后，桥氧的比例减少，非桥氧增加，表明刻蚀时玻璃结构受到破坏，产生了断键。