《表1 纳米玻璃粉末回流工艺参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《面向TGV封装的纳米玻璃粉末回流工艺》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

与GISR工艺相似，NGPR工艺的回流参数研究主要是探索合适的回流温度和保温时间。另外，根据烧结玻璃浆料的经验，在玻璃烧结过程中产生气泡是常见的问题，可采取真空回流等手段予以解决。表1列出了设计的纳米玻璃粉末回流工艺参数实验组合，通过对比各组回流参数的实验结果，确定较优玻璃粉末回流工艺参数。1#、2#和3#实验用于研究回流温度对粉末回流成块质量的影响。玻璃粉末分别在900、950和1 000℃回流，回流后的玻璃块的光学显微照片如图5所示。当回流温度低于1 000℃时，回流玻璃体内仍存在未熔化的白色纳米玻璃粉末，这会导致玻璃体内的应力分布不均匀；当回流温度为1 000℃时，回流后的玻璃体呈透明状态，说明回流效果较好。