《表2 工艺参数实验数据》

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《CrAlN抗冲蚀涂层制备及性能研究》

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采用Nova Nano SEM 430型超高分辨率场发射扫描电子显微镜观察膜层表面和截面形貌，通过LEICA DMi8智能数字倒置金相显微镜对表面的大颗粒进行定量分析，计算出颗粒占涂层的面积百分比。采用MH-5D型硬度计测量膜层的维氏显微硬度，载荷为25g，保载时间15s。通过X射线衍射表征涂层的晶体结构。抗冲蚀性能采用AS600-特制喷砂试验机按ASTM G76-05[18]标准进行，冲蚀测试固体磨粒是氧化铝（Al2O3）颗粒，平均尺寸为80μm，砂粒速率为（30±2)m/s，进砂速率约为（2±0.5)g/min，样品与喷嘴出口之间的工作距离为10mm，冲蚀角为90°±2°，通过Dektakxt三维表面轮廓仪测量涂层厚度和侵蚀坑的深度。