《表2 正交实验的工艺参数》

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《微热压印制备三棱锥结构减反射薄膜》


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三棱锥结构测量方法如图6所示,在a、b、c、d、e 5个位置进行测量区域的选择,并选择两个相邻的三棱锥微结构,以测量三棱锥的高度和两个三棱锥之间的夹角,取其平均值作为实验值以减少实验测量误差,输出参数列于表2中。