《表1 通孔填充后导通性和阻值》

《表1 通孔填充后导通性和阻值》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《基于MEMS器件的玻璃通孔内金属批量化填充制备》


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针对上述方案二的通孔填充实验,验证通孔内金属的导电性和填充效果。通过使用数字万用表测量多个单孔两侧的导通性和阻值。测量过程如图10所示,测试数据如表1所示。