《表1 HCG各参数的优化区间》

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《液晶可调谐VCSEL中高对比光栅结构的设计》

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图3所示为局部反射率最大时各参数与反射率的关系，可以看出，硅脊厚度和占空比对高反射率特性的影响较大，可以使光栅反射率达到99%以上，在影响带宽强度过程中占主导地位。通过优化参数可以设计反射率曲线的中心波长、最大值和带宽等特性，对后续与VCSEL的结合起到了积极作用。表1所示为HCG参数的优化区间，从中选择调制强度最强、衍射效果最优的光栅参数，可以得到图4所示的HCG反射率变化曲线。根据等效介质理论，当光经过亚波长光栅时，TE和TM偏振光会有不同的等效折射率，表现为双折射效应。然而，在TE或TM偏振光入射情况下，都可以进行参数优化，得到大于99%的高反射率。