《表1 使用不同项数拟合结果对比》

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《平行平板横向剪切干涉仪装调误差的矫正方法研究》

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以上理论推导和对实验数据的Zernike多项式波前拟合中没有考虑高阶像差．为了分析高阶像差对平板角度误差和Δa6的关系以及对角度误差矫正精度的影响，分别使用6项、13项和20项Zernike系数对同一套实验数据的差分波前进行拟合，分别得到δ和Δa6的对应关系，结果如图6所示．对使用6项、13项和20项得到的数据点进行直线拟合得到表1中的数据．其中，δ和Δa6的关系分别为Δa6-6=-7.678×10-5δ-4.089×10-6、Δa6-13=-7.736×10-5δ-2.7×10-4和Δa6-20=-8.239×10-5δ-3.7×10-4，直线拟合的R2值分别为：0.999 7、0.999 6和0.999 6．使用13项和20项Zernike系数相比于使用6项Zernike系数对波前拟合的斜率的相对误差约为0.7%和7.3%．当δ=0时，Δa6-6、Δa6-13和Δa6-20分别为-4.089×10-6、-2.7×10-4和-3.7×10-4，根据式（10）可得对应的角度误差分别为0.02″、1.19″和1.63″．