《表1 粘结工序芯片剪切力数据》

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《面向多品种、小批量微电子制造过程的SPC技术应用研究》


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以单片集成电路在线生产中的几个具有代表行性的产品为样本,连续采集25批数据(可以是连续25批中包含n个产品,不同批次的同一个产品可以重复收集)如表1所示。