《表2 相对压力传感器的标定参数》
根据公式(6)将相对压力传感器的电压值与其两端的压差进行一次多项式拟合,计算出S,VOS的值,并求出它们之间的相关系数γ,数据见表2。
图表编号 | XD00131094100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.04.10 |
作者 | 王野、陈元枝、王献英、凡顺利、熊光阳 |
绘制单位 | 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院、上海微电子装备(集团)股份有限公司、桂林电子科技大学电子工程与自动化学院、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 |
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