《表1 绝对压力传感器的系数》
将两个绝对压力传感器的测压口用密封管对接,临近放置,保证同一位置温度相同。绝压传感器的更新频率为1Hz~50Hz,为获取更准确的精确值,选取采样周期为1Hz,采样时间为10h。通过两个绝对压力传感器的读数计算出他们的偏置如图4所示。根据公式(4)计算出k,b的值,以及两个绝对压力传感器测得的压力值与其标定公式之间的相关系数γ,数据见表1。
图表编号 | XD00131094000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.04.10 |
作者 | 王野、陈元枝、王献英、凡顺利、熊光阳 |
绘制单位 | 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院、上海微电子装备(集团)股份有限公司、桂林电子科技大学电子工程与自动化学院、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 |
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