《表1 几何误差：极大望远镜光谱仪准直镜调节机构误差分析》

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《极大望远镜光谱仪准直镜调节机构误差分析》

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由于导轨加工和装配误差，移动平台在运动中具有直线度误差和旋转误差等21项几何误差[12]。由于准直镜工作中只需要对z方向进行调节，因此21项几何误差变为7项几何误差，其他几何误差为零，具体如表1所示。