《表1 512×8数字读出电路参数》

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《甚高灵敏度红外探测器读出电路研究进展》

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图9为昆明物理研究所研制的512×8数字TDI读出电路结构图，电路设计参数如表1所示。单元电路内通过脉冲频率调制ADC实现探测器信号的模数转换，每个像元进行3次空间过采样。像元输出的数字信号通过数字加法器实现8级TDI后输出数字信号。探测器阵列信号通过2路数字端口向外读出。读出电路采用0.18μm CMOS 6层金属工艺设计，像元尺寸为40μm×40μm，与波长范围为8～10μm的红外探测器耦合后的测试统计结果如图10所示。30 ms积分时间下，探测器峰值信噪比为84 dB，峰值灵敏度为1.5 mK，动态范围大于90 dB。