《表2 正交实验方案及结果》

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《化学机械抛光的钛宝石晶体低损伤加工》


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加工后的实验件经过超声清洗以后进行表面粗糙度检测和疵病仪检测,实验结果取平均值,以降低实验过程中存在的误差影响,实验结果如表2所示。