《表2 正交实验方案及实验结果》

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《多弧离子镀的工艺参数对TiAlN膜层性能的影响》

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沉积TiAlN的实验采用L16 (54）正交实验表，表1为正交实验因素水平，表2为正交实验方案和实验测试结果。采用划痕仪测试TiAlN涂层与基体的结合力，金刚石压头加载载荷为0～80 N，加载时间1min，划过的长度5 mm，在滑动过程中，金刚石压头匀速运动。用HMV-2T显微硬度计测量TiAlN涂层的硬度，加载载荷25 g，加载时间15 s，每个样品测量12个点，取平均值以减小测量误差。