《表1 t=11 ns电子浓度峰值随混合比变化情况》

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《CF_4及其N_2混合物微观放电参数计算与绝缘特性仿真研究》

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值得注意的是，在保持温度293 K和压强50 Torr不变的条件下，随着CF4浓度增加，电子浓度变化情况有明显差别。以t=11 ns时电子浓度峰值为例，可以看到此时电子浓峰值分布情况见表1。