《表1 各轴线性模组关键参数》

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《超声振动辅助微细电化学放电加工系统研究》

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为保证运动精度，机床的XYZ轴均采用日本KOUZU高精度模组系统，该模组采用基于精密螺纹的螺旋传动方式，具有载重大、重复定位精度高且刚度好的特点。闭环步进电动机用于驱动模组系统，具有扭矩大、控制精度高、使用方便的特点。各轴电动机均配备编码器用于将运动情况反馈至上位机处，进而通过闭环控制保证XYZ轴的精确运动，各轴参数如表1。