《表1 各样品的元素含量》

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《FeCrNiMoCu高熵合金涂层的多靶磁控共溅射制备及微结构分析》

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图3为Fe Cr Ni Mo Cu涂层在不同Fe含量条件下的表面形貌，相对应的元素含量见表1。从图中可见，所制备的涂层表面致密、连续，在较大范围内未曾观察到明显的缺陷存在。但随着Fe含量的增加，涂层表面突出的颗粒数量逐渐减少，当Fe含量达到13.87%时（见图3d），表面已无明显大颗粒存在，表明Fe含量的增加，有抑制大颗粒在表面生成的作用，有利于提高涂层表面平整度。此外，涂层表面方向一致的条纹，主要来自于研磨后304不锈钢基底。