《表1 开环和闭环性能指标比较》

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《MEMS陀螺仪高阶带通ΣΔ闭环检测系统设计》

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分别在开环和闭环下对标度因数、测量范围等指标进行测试，具体测试数据如表1所示。由表1可见，与直接开环检测相比，闭环SDM检测的MEMS陀螺仪，哥氏力被反馈静电力所平衡，质量块在x轴方向的哥氏振动被抑制，仅在平衡位置附近作微小振动，从而有利于抑制外界干扰；标度因数非线性和非对称性均提高4倍，测量范围提高了1.5倍。