《表1 各压电薄膜及电极的材料参数》

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《固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析》

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压电层材料主要有PZT、ZnO、AlN等，对于这三种材料为压电薄膜的FBAR分别进行了在相同厚度和相同谐振频率下的谐振特性比较。表1为所用的材料参数。图2为分别使用相同厚度的PZT、ZnO、AlN作为压电薄膜的FBAR仿真波形对比，器件参数为:上/下Mo电极厚度分别为50 nm，压电薄膜厚度2 000 nm，谐振面积60μm×60μm。