《表1 几种折射率均匀性检测方法的优缺点对比》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《超薄电子信息玻璃光学均匀性的检测方法》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

全息干涉法运用二次曝光技术对玻璃的均匀性进行检测，可扩展到其他透明材料的检测，但是对被测件的前期加工要求较高，检测成本增加；平行光管测量法只能根据分辨率图案或星点像判断结果，通过查表得出被测件的折射率均匀性等级，而无法给出具体数值；多光束球面干涉的精度达到2×10-6，比其他方法低；单件干涉法和平面干涉法与其他方法相比精度较高，但是单件干涉法对被测样品的加工要求较高，不适合用于对毛坯样品的检测。综上所述，平面干涉法较适合电子信息玻璃的光学均匀性检测，并且检测精度较高，可达到0.5×10-6。