《表1 高精度热板2校准前温度》

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《ACT涂胶显影台高精度热板温度校准》

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℃

在实际工艺线中某一产品关键工艺层曝光后线宽异常，先后对光刻机和涂胶显影台做相关测试进行排查，最终发现问题出在涂胶显影台的高精度热板2上。由于没有专业校准工具，使用普通温度计替代利用上述测量方法进行测量，高精度热板设置温度为135℃，实际测量温度如表1所示。