《表4 高精度热板2校准后温度》

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《ACT涂胶显影台高精度热板温度校准》


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可以看出,2~6号加热丝中间位置温度比两侧温度至少要高1℃以上,加热丝不同位置温度差别较大。将偏差量补偿到MC后重新测量,测量温度如表4所示。