《表3 高精度热板1校准前温度》

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《ACT涂胶显影台高精度热板温度校准》

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℃

每一个程序只能使用一个高精度热板，不能同时使用3个高精度热板，否则曝出的产品线宽相同。使用上述测量方法分别对另外两个高精度热板进行测量校准，其中高精度热板1的测量温度如表3所示。