《表1 1#靶材的主要成分》

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《氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性》

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磁控溅射靶材是决定薄膜质量的重要因素。换句话说，要想生长高质量薄膜，一个好的靶材是必不可少的。本文选用了两种ZnO靶材进行对比。靶材制备过程为：使用平均粒径分别为500和1 500 nm的两种ZnO粉体原料，通过机械混合法分别与Al2O3等材料混合，制备得到Al2O3质量分数为2%的混合粉末，使用40 MPa单向压力成型结合150 MPa冷等静压制备出靶材生坯，将生坯在1 300℃下焙烧5 h得到致密度达到99%的两种靶材成品[12]。将两种原料得到的靶材分别标记为1#和2#。其中，1#靶材的主要成分如表1所示。