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目录1

第一章 真空技术的基本概念和物理基础1

第一节 真空技术的基本概念1

一、大气压力1

二、真空的概念3

三、真空度的单位4

第二节 真空技术的物理基础7

一、气体的基本定律7

二、蒸气的性质9

三、分子的碰撞次数和平均自由程11

四、气体流动状态及流导13

第三节 真空技术的基本内容和应用15

一、真空技术的基本内容15

二、真空技术在电光源生产中的应用15

第二章 真空的获得19

第一节 真空泵的分类和基本参量19

一、真空泵的分类19

二、真空泵的基本参量20

第二节 机械真空泵23

一、旋片式机械真空泵23

二、定片式机械真空泵26

三、滑阀式机械真空泵28

四、掺气机械真空泵29

五、多室旋片式机械真空泵29

六、机械真空泵油32

七、机械真空泵的使用和维修33

第三节 机械增压泵35

一、机械增压泵的工作原理35

二、机械增压泵的型式及基本参数39

第四节 蒸气流扩散泵39

一、扩散泵的分类40

二、扩散泵的工作原理40

三、玻璃油扩散泵42

四、金属油扩散泵和高真空机组45

五、扩散泵的使用和维护49

第五节 真空获得和保持的其它方法49

一、玻璃去气方法50

二、金属去气方法51

第三章 真空测量和检漏55

第一节 真空计的分类和比较55

一、真空计的分类55

二、真空计的测量范围56

一、U形真空计57

第二节 常用的真空测量仪器57

二、金属指示真空计58

三、压缩真空计59

四、热偶真空计64

五、热阴极电离真空计67

六、利用气体放电粗略估计真空度71

第三节 真空检漏74

一、系统漏气的判断74

二、漏孔的表示方法75

三、常用的检漏方法76

一、对真空材料的性能要求79

第四章 真空系统常用的材料和零件79

第一节 真空系统的常用材料79

二、真空密封材料80

三、真空橡胶82

第二节 真空系统零件84

一、玻璃阀门84

二、玻璃分量阀门85

三、电磁真空阀门86

四、微调真空阀87

六、干燥器88

五、返油器88

七、冷凝捕集器90

八、玻璃过渡接头91

第五章 真空系统和真空设备94

第一节 真空系统的基本要求和典型结构94

一、对真空系统的基本要求94

二、真空系统的分类95

三、真空系统的典型结构96

四、真空系统的连接98

一、白炽灯泡的排气系统101

第二节 白炽灯泡的排气系统和设备101

二、灯泡圆排气车的结构102

三、灯泡圆排气车真空系统的安装107

四、灯泡圆排气车的使用和保养109

第三节 荧光灯的排气系统和设备112

一、荧光灯高真空玻璃排气系统113

二、48工位荧光灯圆排气车115

三、荧光灯圆排气车的使用和保养119

第四节 其它真空系统简介122

一、超高压氙灯排气系统122

二、真空镀膜系统126