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第一章 真空技术的基本概念1

第一节 大气压力1

第二节 真空的概念3

第三节 真空技术的基本内容7

第四节 真空技术在电光源生产中的重要性9

第二章 真空技术的物理基础12

第一节 气体分子运动论的基本原理12

一、气体的基本定律12

二、蒸气的性质15

第二节 分子的碰撞次数与分子的自由程17

第三节 气体沿管道的流动状态及判别法21

一、气体沿管道的流动状态21

二、气体流动状态的判别法22

第四节 管道的流导计算26

一、粘滞流状态下管道的流导计算27

二、分子流状态下管道的流导计算27

三、分子-粘滞流状态下管道的流导计算28

第三章 真空的获得33

第一节 真空泵及其分类33

一、机械真空泵33

二、扩散泵33

三、分子泵34

四、吸附泵34

五、吸气离子泵34

六、冷凝泵34

一、起始压强35

第二节 真空泵的基本参量35

三、极限压强36

四、抽气速率36

五、常用真空泵型号命名方法36

二、最大(临界)的压强36

第三节 机械真空泵37

一、旋片式机械真空泵37

二、定片式机械真空泵40

三、滑阀式机械真空泵42

四、掺气机械真空泵43

五、多室旋片式机械真空泵44

六、机械真空泵油47

七、机械真空泵的使用和维修47

一、概述50

第四节 机械增压泵50

二、工作原理51

三、机械增压泵的型式及基本参数52

第五节 蒸气流扩散泵54

一、扩散泵的工作原理55

二、玻璃油扩散泵56

三、金属油扩散泵和高真空机组60

四、扩散泵的使用和维护64

第六节 真空获得和真空保持的其它方法65

一、玻璃去气方法66

二、金属去气方法67

第七节 吸气剂68

一、白炽灯用吸气剂70

二、荧光灯用吸气剂74

三、高压气体放电灯用吸气剂76

第四章 常用的真空测量仪器和检漏方法81

第一节 U形真空计83

第二节 金属指示真空计86

第三节 压缩真空计89

第四节 热偶真空计93

第五节 热阴极电离真空计96

第六节 利用气体放电粗略估计真空度100

第七节 真空检漏105

一、系统漏气的判断105

二、漏孔的表示方法107

三、常用的检漏方法108

第五章 真空系统常用的材料和零件113

第一节 玻璃材料114

第二节 金属材料118

一、常用的黑色金属及其合金118

二、常用的有色金属及其合金120

三、常用的低熔点金属121

第三节 真空橡胶122

第四节 真空密封物质124

第五节 真空系统零件127

一、玻璃阀门127

二、玻璃分量阀门129

三、电磁真空阀129

四、微调真空阀130

六、干燥器131

五、返油器131

七、冷凝捕集器132

八、玻璃过渡接头134

第六章 电光源工业中常用的真空系统和设备137

第一节 白炽灯泡的排气系统和设备138

一、灯泡圆排气车的构造139

二、灯泡圆排气车真空系统的安装143

三、灯泡圆排气车的使用和保养148

第二节 荧光灯的排气系统和设备150

一、荧光灯用玻璃真空系统(长排车)150

二、48工位荧光灯圆排气机156

第三节 超高压氙灯排气系统165

一、超高压氙灯玻璃排气系统166

二、氙灯排气系统的使用过程167

三、冷冻充气系统压力的计算169

第四节 高压钠灯封口、排气真空系统171

一、钠灯内管封接的真空系统172

二、钠提纯和分装的真空系统174

三、钠灯内管排气真空系统177

第五节 真空镀膜设备178

一、原理179

二、蒸发源180

三、真空系统181

四、膜层厚度的测量182

第七章 真空系统的设计与计算184

第一节 真空系统的设计原理184

第二节 机械泵与扩散泵的匹配188

第三节 冲洗法的计算190

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