《可关断可控硅试制小结》求取 ⇩

目录3

一 原理与结构3

1.可关断可控硅开通机构3

2.关断机构7

3.主要参数及控制极伏安特性11

4.结构12

二 工艺14

1.工艺流程14

2.扩散18

3.光刻35

4.真空蒸铝43

5.烧结45

三 特性分析49

1.正向耐压49

2.反向耐压51

3.高温特性52

4.正向压降54

5.影响关断能力的因素55

四 测量60

1.耐压测试60

2.低频测试61

3.动态测试66

4.维持电流的测量70

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