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第一章透射电子显微镜和扫描电子显微镜1

1.1 引言1

1.2 透射电镜的结构原理2

1.3 透射电镜的衬度原理4

1.4 透射电镜的主要性能指标8

1.5 透射电镜的样品制备和复型技术10

1.6 扫描电镜的工作原理12

1.7 扫描电镜的工作模式和衬度原理16

1.8 扫描电镜的结构部件23

1.9 电子探针27

第二章声学成象和声显微镜35

2.1 声学成象概述35

2.2 球面声透镜及其聚焦性质38

2.3 扫描成象的扫描式声显微镜47

第三章扫描隧道显微镜和原子力显微镜50

3.1 扫描隧道显微镜原理50

3.2 扫描隧道显微镜仪器结构55

3.3 扫描隧道显微镜的应用举例61

3.4 原子力显微镜64

3.5 激光力显微镜和弹道电子发射显微镜68

第四章X光衍射分析75

4.1 预备知识75

4.2 X光衍射原理81

4.3 X光衍射方法87

4.4 X光衍射方法的应用97

5.4 低能电子衍射图象与二维倒格子关系113

5.5 吸附表面的LEED图象118

5.6 低能电子衍射的运动学理论121

5.7 衍射斑点的强度特性124

5.8 不完善结构的衍射特征127

5.9 反射式高能电子衍射130

第六章俄歇电子能谱135

6.1 俄歇效应135

6.2 俄歇电子的能量139

6.3 影响俄歇电流的因素与计算俄歇电流的公式141

6.4 俄歇谱及其测量方法简介147

6.5 定性和定量分析150

6.6 信噪比与俄歇分析的检测极限157

6.7 扫描俄歇157

6.8 深度剖面分析158

6.9 化学效应与荷电效应160

第七章X射线光电子能谱164

7.1 X射线光电子能谱与谱仪的简单介绍164

7.2 电子结合能理论计算、能量定标与荷电效应简介168

7.3 化学位移171

7.4 伴峰和谱峰的分裂176

7.5 定性分析与俄歇峰的利用183

7.6 定量分析187

第八章二次离子质谱189

8.1 离子与表面的相互作用190

8.2 二次离子发射的基本规律196

8.3 SIMS分析模式和基本关系式209

8.4 二次离子谱仪212

8.5 SIMS的分析方法和应用219

8.6 二次离子质谱学的发展228

第九章卢瑟福背散射能谱和沟道技术231

9.1 背散射分析原理231

9.2 分析设备和实验技术236

9.3 背散射分析的应用243

9.4 沟道技术原理253

9.5 晶体定向的方法及沟道能谱257

9.6 沟道技术的应用262

第十章热波检测和热波成象技术271

10.1 概述271

10.2 热波的激励279

10.3 交变温升引起的表面形变286

10.4 测量离子注入浓度的热波探针系统289

附录Ⅰ 能量分析器简介296

附录Ⅱ 用脉冲计数法测量微弱电流302

附录Ⅲ 俄歇微分谱与直接谱的测量307