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目录1

第六章 电真空器件中的气源和物质迁移1

§6.1 气体来源2

6.1.1 溶解2

6.1.2 渗透7

6.1.3 出气12

6.1.4 蒸发29

6.1.5 分解39

§6.2 残余气体的化学反应45

6.2.1 气体在热表面上的反应46

6.2.2 残气之间的热化学平衡51

§6.3 阴极与气氛的作用62

6.3.1 热阴极64

6.3.2 光电阴极107

6.3.3 冷阴极113

6.3.4 阴极与气氛作用的复杂性116

§6.4 物质迁移117

6.4.1 迁移的机理117

6.4.2 污染的来源和影响121

6.4.3 物质迁移的危害及复杂迁移过程123

第七章 电真空器件的排气129

§7.1 电真空材料的出气特性130

7.1.1 玻璃130

7.1.2 陶瓷139

7.1.3 金属144

§7.2 器件外壳与内部电极的除气149

7.2.1 器件外壳的加热除气149

7.2.2 器件内部电极的加热除气156

§7.3 阴极的处理176

7.3.1 阴极在排气时的处理过程177

7.3.2 阴极处理规范的选择181

§7.4 消气剂处理与器件的封离185

7.4.1 消气剂的处理185

7.4.2 器件的封离190

§7.5 器件零件的净化热处理与存放191

7.5.1 零件的净化热处理191

7.5.2 清洁零件的存放200

§7.6 排气系统的考虑204

7.6.1 电真空器件排气的特点204

7.6.2 器件的抽气过程与排气系统的选择206

第八章 消气剂及其应用215

§8.1 电子管对消气剂的基本要求215

§8.2 蒸散型消气剂220

8.2.1 钡膜的吸气特性与机理221

8.2.2 蒸散型消气剂的发展与分类246

8.2.3 钡消气剂的基本参量256

8.2.4 钡消气剂的蒸散工艺257

8.2.5 钡消气剂污染和活性检验方法259

§8.3 非蒸散型消气剂260

8.3.1 单质型(ⅣB族金属锆、钛等)消气剂的体吸气261

特性及吸气机理——金属高温氧化理论261

8.3.2 非单质型消气剂的吸气性能272

§8.4 采用消气剂的一般原则302

§8.5 锆铝消气剂泵303

第九章 电真空器件内真空度的测量316

§9.1 放电电流法316

9.1.1 辉光放电法316

9.1.2 磁控放电法318

§9.2 热阴极电离计法319

9.2.1 三极管的测量320

9.2.2 多极管的测量337

第十章 真空击穿352

§10.1 强电场作用下表面的电子发射355

§10.2 击穿之前的预击穿过程362

10.2.1 场致发射及有关的脉冲现象362

10.2.2 微放电现象372

10.2.3 微粒预击穿现象377

§10.3 击穿过程及其机理384

10.3.1 场致发射引发的击穿机理385

10.3.2 粒子交换理论391

10.3.3 微粒引发的击穿过程——小块理论392

10.4.1 影响金属电极间真空绝缘的因素406

§10.4 影响金属电极间真空绝缘的因素及实验实例406

10.4.2 排气技术对真空击穿的影响415

10.4.3 电子管内真空击穿的特征419

第十一章 表面分析423

§11.1 绪言423

11.1.1 表面和表面的性质423

11.1.2 表面信息及表面分析技术的特征428

11.1.3 表面分析技术和电真空技术430

§11.2 表面分析技术概述432

11.2.1 探束和被检测粒子以及分析方法的类型和命名432

11.2.2 表面分析技术和超高真空436

§11.3 以电子为探束的表面分析技术438

11.3.1 射电子与固体的相互作用438

11.3.2 俄歇电子能谱444

11.3.3 低能电子衍射482

§11.4 光电子能谱503

11.4.1 光电子能谱的物理基础504

11.4.2 光电子能谱仪的结构和测量515

11.4.3 X射线光电子能谱及其应用519

11.4.4 紫外光光电子能谱的应用533

§11.5 以离子为探束的表面分析技术537

11.5.1 概论537

11.5.2 离子溅射剥蚀及其效应541

11.5.3 离子激发俄歇电子能谱548

11.5.4 离子散射能谱551

11.5.5 二次离子质谱仪563

§11.6 表面分析技术的组合应用574

第十二章 蒙特卡洛法的应用584

12.1.1 蒙特卡洛法585

§12.1 蒙特卡洛法简介585

12.1.2 计算圆筒传输几率586

12.1.3 计算定积分Pr=∫?f(x)dx593

12.1.4 基本思想和解题步骤595

12.1.5 蒙特卡洛法的特点597

12.1.6 伪随机数598

§12.2 三类物理过程的蒙特卡洛模拟599

12.2.1 模拟自由分子流600

12.2.2 模拟电子发射606

12.2.3 模拟气体放电611

§12.3 模拟人字形障板中的分子流619

12.3.1 模拟目的619

12.3.2 计算传输几率619

12.3.3 计算返油几率626

12.3.4 计算结果和实验验证628

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