《美国2000年微电子技术开发讲划》求取 ⇩

序言1

总结报告3

一、引言6

二、技术开发计划9

(一)光刻9

(二)工艺14

(三)模拟22

(四)器件与电路27

(五)结构30

(六)经济效益36

三、结论41

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