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目录1

一、厚膜集成电路1

膜集成电路1

厚膜技术1

厚膜混合集成电路1

功率厚膜混合集成电路1

厚膜混合线性集成电路1

厚膜微波集成电路1

厚膜浆料2

多层布线法2

多层基片2

厚膜基片2

全厚膜化集成电路2

触变性3

掩模3

乳胶掩模3

腐蚀全金属掩模3

电铸全金属掩模3

刀刻掩模3

喷涂4

重烧性4

印贴工艺（印花工艺）4

烧结4

细线分辨力4

细线工艺4

丝网印刷4

导电带5

银迁移5

厚膜电阻器5

氧化钌电阻器5

氧化铱电阻器5

厚膜复合介质6

厚膜电容器6

厚膜功率电阻器6

金属树脂酸盐电阻器6

钯-银电阻器6

碳-树脂电阻器6

二硅化钼电阻器6

多层厚膜电容器7

厚膜微调电容器7

调整7

激光调阻7

喷砂调阻7

砂轮切割调阻7

厚膜试样7

厚膜电感器7

厚膜封装工艺8

外接元器件8

厚膜电路块8

厚膜晶体管8

焊接工艺8

防护涂层8

内接元器件8

薄膜微波集成电路 7-9

薄膜集总参数微波集成电路 7-9

薄膜分布参数微波集成电路 7-9

钽膜电路 7-9

薄膜混合集成电路 7-9

全薄膜化集成电路 7-9

薄膜微电子学 7-9

二、薄膜集成电路9

方电阻 7-10

方数10

有效面积（薄膜电阻器的）10

功率密度10

比容10

自愈（薄膜电容器的）10

套蒸精度10

膜厚及其淀积速率的监控11

溅射率11

蒸发速率11

淀积速率11

本征应力11

热应力11

薄膜中的应力11

附着力（薄膜的）11

电迁移11

铝导体12

铬-钛导体12

钼-锰导体12

钽导体12

金导体12

薄膜导体12

基片12

膜厚测量12

薄膜电阻器13

铬膜电阻器13

钽膜电阻器13

镍-铬膜电阻器13

铬-硅系薄膜电阻器13

铍-镍膜电阻器13

氧化钽薄膜电容器14

氧化硅薄膜电容器14

氧化铌薄膜电容器14

薄膜电容器14

铼膜电阻器14

氮化钛膜电阻器14

氧化钇薄膜电容器15

氧化铪薄膜电容器15

氧化铝薄膜电容器15

氧化镍薄膜（阻挡层）电容器15

钛酸钡薄膜电容器15

薄膜晶体管16

薄膜二极管16

薄膜电感器16

叉指式薄膜电容器16

氟化镧（铈、镨、钕）薄膜电容器16

聚四氟乙烯薄膜电容器16

聚对二甲苯膜式电容器16

薄膜热电子器件17

硅膜集成电路（硅-蓝宝石器件）17

薄膜工艺17

基片清洗17

真空蒸发17

电子束蒸发17

反应溅射18

射频溅射18

阴极溅射18

离子束蒸发18

瞬时蒸发18

反应蒸发18

偏压溅射19

等离子体溅射19

离子束溅射19

共溅射19

双射频溅射19

复印20

超微粒银盐干版20

分步重复照相20

原图制备20

化学气相沉积20

液相溅射20

吸气溅射20

光致抗蚀剂21

光刻21

套刻21

阳极氧化21

热处理21

薄膜元件调整21

直流火花放电调阻22

电化学氧化调阻22

脉冲调阻22

激光调整22

金刚针压制调阻22

电子束调阻22

辅助电极切割调容23

溅射腐蚀23

钝化（薄膜元件的）23

锡焊23

热压焊23

球焊23

楔形焊23

平行缝焊24

激光焊24

共熔焊24

贮能焊24

热压超声焊24

超声倒装焊24

超声焊24

针脚式焊24

颠摆焊25

电子束焊25

焊接玻璃25

梁式引线25

梁式引线基片25

膜混合集成电路的封装25

电子束曝光机26

投影式掩蔽设备26

等离子去胶机26

同轴引出端金属空腔封装26

激光扫描绘图机26

自动原图刻图机26

分步重复照相机26

超高真空无油蒸发设备27

膜混合集成电路的热设计27

激光调阻机27

薄膜多源联动蒸发设备27

倒装焊键合机27

溅射组合机组27

双射频溅射设备27

射频溅射设备27

电子束蒸发设备27

电路平面布线设计28

大规模混合集成电路28

薄膜多层布线28

薄膜多层布线用导体28

薄膜多层布线用隔离介质28

一氧化硅薄膜多层布线28

铝钡硼硅酸盐玻璃薄膜多层布线29

聚二甲基硅氧烷薄膜多层布线29

光致抗蚀剂薄膜多层布线29

聚酰亚胺薄膜多层布线29