《硅NPNG平面型高频小功率晶体管硅NPN处延平面型高速开关小功率晶体管·制造工艺》求取 ⇩

目录1

第一部分 工艺流程及其示意图1

3 DG6硅NP？平面型高频小功率晶体管工艺流程方框图1

3 DKa，3 DK3硅NPN外延平面型高速开关小功率晶体管工艺流程方框图2

3DK5,3DK6超小型硅NPN外延平面型高速开关小功率3

晶体管工艺流程方框图3

硅NPN外延平面型高速开关小功率晶体管制造工序示意图4

第二部分 3DG6,3 DK2,3 DK3,3 DK5,3 DK6的管芯制造5

一次氧化5

光刻7

基区硼扩散、二次氧化11

附（1）氧化层厚度的测量15

附（2）扩散结深度的测量17

附（3）表面电阻（ps）的测量18

硅片减薄19

金扩散19

磷扩散及三次氧化20

真空蒸发23

划片27

初测29

第三部分 3DG6,3DK2,3DK3的装配及封装（金属壳封装）30

烧结30

附：银浆配制32

热压32

涂料34

点焊支架35

点焊硅？丝37

套帽37

封口38

老化40

喷漆41

打印包装42

总测43

附：测试技术规范表44

第四部分　3DK5，3DK6的装配及封装（环氧树脂超小型封装）49

烧结49

热压50

环氧树脂密封成型52

老化55

总测57

附：测试技术规范表58

第五部分 原材料、硅片、器皿及工具的清洁处理60

第六部分 主要设备、工装模具、材料、石英、玻璃器皿等一览表65

3 DG6，3DK2,3DK3硅平面管生产所用主要设备65

3DK5，3DK6硅平面外延三极管生产所用主要设备66

3DG6,3DK2,3 DK3生产用主要工具、仪器67

3DG6，3DG2，3DK3,3DK5,3DK6硅平面三极管生产使用石英玻璃器皿68

3DK3,3 DK3，3DG6生产使用主要材料69

3DK5,3DK6生产使用主要材料71