本书收集了有关半导体(集成块)制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体(集成电路)制造的人员学习和阅读相关技术文献等具有一定的参考价值。

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