《硅片加工技术》高清PDF
作者:康自卫,王丽主编
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2010.09 (求助前请核对清楚)
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本书主要从实际工艺的角度对硅片生产全过程进行了比较系统详细的介绍,包括硅单晶的基本特性和晶体结构,硅片生产设备的种类、性能及其使用方法,硅单晶从滚磨与开方、切割、研磨、抛光、清洗一直到检验包装的整个生产过程与管理,其中针对太阳能硅片的生产有适当的介绍,通过这些介绍,旨在使读者能够对硅片生产有一个全貌的认识,能具备硅片生产工艺与检验的基本知识,对各种设备仪器和工艺过程有所了解,有条件时可以通过实习掌握部分设备仪器的使用技能。
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