《半导体制造工艺》高清PDF
作者:张渊主编
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2011.01 (求助前请核对清楚)
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本教材的编写简化了深奥的理论论述,在对基本原理介绍的基础上注重了对工艺过程、工艺参数的描述以及工艺参数测量方法等。
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