《半导体制造与过程控制基础》高清PDF
作者:(美)梅,斯帕农斯
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2009.01 (求助前请核对清楚)
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本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中,电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。本书讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题,包括(但不限于)制造、过程控制、试验设计、过程建模、产出建模和CIM(计算机集成制造)/CAM(计算机辅助制造)系统。本书包括对基本制造概念理论和实践的描述,以及一些案例分析、典型问题和建议的练习。 本书可作为相关专业研究生的教材,也可在半导体制造课程中使用。本书也可作为半导体工业中实践工程师和科研人员的参考书。
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