当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论为主题，从材料制备技术、系统设计方法、制造工艺方法、建模与控制方法，以及系统应用的角度，较全面深入地介绍当前国内外最新研究成果。本专著内容主要取材于作者课题组近5年在国家自然科学基金资助下取得的科研成果，同时对本专著所涵盖专业领域国内外的主流前沿技术进行系统归纳，使读者能在较短时间内对动态MEMS系

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