《现代机电一体化技术丛书 微机电系统及工程应用》高清PDF
作者:莫锦秋,梁庆华,王石刚编著
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2015.08 (求助前请核对清楚)
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本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章,分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面,包含微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节;微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理;先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术;多种设计手段和实用软件。
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