《MEMS可靠性》高清PDF
作者:东南大学MEMS教育部重点实验室
出版:南京:东南大学出版社
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出版时间:2009.03 (求助前请核对清楚)
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《微机电系统原理》高清PDF下载 (韩)李基邦(KiBangLee)著;马小军,王国胜,吕强等译 2014.04
《微机电系统工程基础》高清PDF下载 王琪民,刘明侯,秦丰华编著 2010.01
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《MEMS设计模拟与仿真系统应用-Coventor Ware》高清PDF下载 郝永平,刘凤丽,刘世明编著 2007.01
《CMOS MEMS技术与应用》高清PDF下载 (美)O. Brand ,(美)G. K. Fedder著;黄庆安,秦明译 2007.07
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《现代永磁电动机交流伺服系统》高清PDF下载 郭庆鼎,孙宜标,王丽梅编著 2006.08
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本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著,共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微纳压痕仪,鼓胀测试,弯曲测试,单轴张应力测试,片上测试;第二部分论述MEMS器件的可靠性,包括压力传感器可靠性,惯性传感器可靠性,RF MEMS可靠性和光MEMS可靠性。
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