本书介绍了应用COMSOL Multiphysics有限软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以MEMS典型建模实例内容及其参考文献，图文并茂。概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysics软件中MEMS建立模型的基本过程。以六个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法。介绍……

📙 相关书籍

  1. 《微装配与微操作》高清PDF 本书对微装配与微操作发展背景、特点、理论基础、微装配与微操作模型以及工具进行了叙述。...
  2. 《微特电机的维护与故障处理 微型电机》高清PDF 本书以问答的形式，详细地回答了多种控制微电机和驱动微电机的结构特点、使用维护、故障处理以及微电机试验等技术问题。...
  3. 《微型机械导论》高清PDF 高水平大学重点学科建设教材·微机电系统类:本书介绍了超精密加工方法，半导体工艺加工方法等加工方法，微型传感器，微型执行器，微型机械的设计建模和检测技术，以及国外对微型机械人才的培养情况等内容。...
  4. 《微特电机的维护与故障处理 特种电机》高清PDF 本书全面介绍了直流牵引电动机、防爆电动机、换向器调速三相异步电动机、电磁调速三相异步电动机、冶金及起重用三相异步电动机等10多种特种电机的整机故障及处理方法。...
  5. 《微特电机应用技术手册》高清PDF 本书包括应用和电机两大方面。前12章包括概述、应用领域、运行与负载、使用条件、质量与安全以及选用的基本原则；后12章包括直流电动机、无刷直流电机、交流异步电机、交流同步电机、交直流两用电机、步进电动机、开关磁阻电动机、速度传感器、小型永磁发电机、直线电机以及附录。...
  6. 《微机电系统技术》高清PDF 由国防科技图书出版基金资助出版:本书介绍微机电系统技术涉及的微机械学、微电子学、微光学、流体力学、自动控制等的学科内容，包括基本问题、常用材料、相关的集成电路制造技术等。...
  7. 《MEMS技术及其应用》高清PDF 国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著出版基金资助出版:本书共有八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。...
  8. 《多晶硅微机械构件材料力学行为及微机械粘附问题研究》高清PDF 本书在系统总结国内外有关微机电系统的最新研究进展基础上，论述了微型机械设计学的研究范畴，系统地阐述了微机械构件材料力学行为和微机械粘附问题。...
  9. 《电工培训教材 下》高清PDF ...
  10. 《微机电系统工程基础》高清PDF 本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等。...

提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。