高水平大学重点学科建设教材·微机电系统类:本书介绍了超精密加工方法，半导体工艺加工方法等加工方法，微型传感器，微型执行器，微型机械的设计建模和检测技术，以及国外对微型机械人才的培养情况等内容。

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