本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术，CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器和RF器件及系统中的应用。

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