《微机电系统力学》高清PDF
作者:高世桥,刘海鹏著
出版:北京:国防工业出版社
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出版时间:2008.04 (求助前请核对清楚)
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本书以微机电系统(MEMS)为背景,以物理学基本力为基础,重点介绍纳米尺度下的力学环境(包括静电力、电-电磁力、范德瓦尔斯力、布朗力、阻尼、卡西米尔力等)、力学作用及微尺麦效应,并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。
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