《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》高清PDF
作者:田文超著
出版:西安:西安电子科技大学出版社
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出版时间:2009.05 (求助前请核对清楚)
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本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识,内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。
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