作者：王琪民，刘明侯，秦丰华编著 出版：合肥：中国科学技术大学出版社 页数：370    ✅ 真实服务 非骗流量  ❤️ 出版时间：2010.01 （求助前请核对清楚） 求助编号：9125426330 （学习资料 勿作它用） 求助格式：PDF（无水印/扫描版）我要投诉 重要说明：求助即说明同意《文件求助条款》   Word/doc、ePubb、mobi、PPT、TXT

    • 本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等。

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