国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著出版基金资助出版:本书共有八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。

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